Senzor rezistent la gaze microelectronice pe bază de filme nanocristaline de dioxid de staniu cu terbiu și

Este luată în considerare tehnologia senzorilor de gaz rezistiv microelectronic. Contactele încălzitorului și termistorului se formează pe un substrat de siliciu oxidat prin pulverizarea unei pelicule de nicrom și fotolitografia ulterioară în combinație cu pulverizarea reactivă cu magnetron a unei pelicule nanocristaline de dioxid de staniu cu aditivi de terbiu și antimoniu. Un senzor de 1,5 × 1,5 mm necesită 90 mW pentru încălzire la o temperatură optimă de funcționare de 250-280 ° C. Senzorul are o sensibilitate foarte mare la alcooli și o sensibilitate scăzută la benzen și acetonă.

Aceasta este o previzualizare a conținutului abonamentului, conectați-vă pentru a verifica accesul.

Opțiuni de acces

Cumpărați un singur articol

Acces instant la PDF-ul complet al articolului.

Calculul impozitului va fi finalizat în timpul plății.

Abonați-vă la jurnal

Acces online imediat la toate numerele începând cu 2019. Abonamentul se va reînnoi automat anual.

Calculul impozitului va fi finalizat în timpul plății.

rezistent

Referințe

T. Seiama, A. Kato și K. Fujuishi, „Un nou detector pentru componente gazoase care utilizează pelicule subțiri semiconductoare” Anal. Chem., 34, 1502–1503 (1962).

G. Korotcenkov și B. K. Cho, „Oxidul metalic compune în senzorii și senzorii de gaz corectori” Senzor. Actuat. B-Chem., 244, 182–210 (2017).