Observații asupra efectelor de încărcare a materialelor neconductoare și neacoperite de fasciculul de ioni
Adăugați la Mendeley
Abstract
Eșantioanele de încărcare a defectelor materialelor neconductoare în microscopia electronică cu scanare sunt discutate cu referire la câmpul electric de suprafață generat de doza iluminantă a fasciculului de electroni. Dacă densitatea de încărcare depinde de constanta timpului de relaxare definită de un produs de permitivitate și rezistivitate atunci când este cunoscut sau disponibil, câmpul electric poate fi evaluat prin doza incidentă stocată atunci când este iluminată de un fascicul de scanare a electronilor.
S-a constatat prin observație că materialele neacoperite sau neconductoare pre-bombardate de un fascicul de ioni pozitivi, care contribuie la câmpul negativ generat, împreună cu efectele de încărcare, ar putea fi eliminate în momentul optim de neutralizare.